触針式プロファイラー
(Stylus Profilometer)
- ・ 機器名
ブルカージャパン Dektak Pro -A（令和8年度設置）
- ・ 概要
高精度な触針（スタイラス）を用いて試料の表面形状測定を行う装置。ナノメートルオーダーの垂直分解能を備え、膜厚、段差、応力、表面粗さ、ウエハの反りといった測定に使われる。
- ・ 仕様
構成:
Dektak Pro -A
DPRO-4-61N WVC-BC (4 to 6 inch wafer vacuum chuck, anodized black)
PRO-STYL-12.5UM-B (Stylus, LIS 3, 12.5um Radius, Red, Color Coded-Type B)
DPRO-STITCH (Stitching Capability)
DPRO-3D MAP (3D Mapping Collection and Analysis capability)
DPRO-2D STRESS (2D Stress Measurement Capability)
DPRO-AUTOMATION (Automated Measurement Collection)
DPRO-NLITE+ (Nlite+Low Force Measurement Capability)
最大サンプル厚
50 mm （標準ウェーハバキュームチャック使用時）
最大ウェハサイズ
200 mm （8インチ）
高さ測定範囲（最大）
1 mm （0.039インチ）
高さ分解能
1 Å （6.5 μm測定レンジ選択時）
スタイラス
PRO-STYL-12.5UM-B （先端曲率 12.5 μm）
- ・ 設置場所
1階107室
- ・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、ビデオ講習受講者（ビデオ講習の問い合わせはlecture@crfc.tut.ac.jpまで）
- ・ 留意事項
＊必ず事前に取扱いビデオを見て操作方法を学び、注意事項を守って使用すること。
