走査型電子顕微鏡
(SEM：Scanning Electron Microscope)
- ・機器名
日本電子 JSM-IT100 （平成 29 年度設置）
- ・ 概要
電子線プローブにより励起された二次電子、特性Ｘ線を利用して、試料表面の微小構造の観察、線・面分析（Ｘ線分析）、定性・定量分析に利用。
- ・ 仕様
分解能 |
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4.0 nm (20kV,WD8mm) |
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8.0 nm ( 3kV,WD6mm) |
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15.0nm ( 1kV,WD6mm) |
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加速電圧 |
: |
0.5 ～ 20 kV |
倍率 |
: |
5x ～ 300,000x |
分析可能元素 |
: |
4Be ～ 92U |
・ 設置場所
１階114室
- ・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、取扱講習受講者
- ・ 留意事項
