低真空走査電子顕微鏡
(Low-vacuum Scanning Electron Microscope)
- ・機器名
SEM部：日立 SU3500
EDX部：EDAX Genesis APEX2 Octane
（平成 25 年度設置）
- ・ 概要
非常に細く絞った電子線を試料に照射したときの２次電子や励起光、反射電子を検出して像を形成することにより、固体表面を観察できる。また同時に発生する特性Ｘ線を測定することにより、固体表面の微少部分に存在する元素種を非破壊に分析する。本装置では試料を低真空下におくことにより、絶縁物でも導電処理なしでの観察が可能である。
- ・ 仕様
SU3500 |
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二次電子像分解能 |
: |
3.0 nm（加速電圧30kV,WD=5mm,高真空モード） 7.0 nm（加速電圧3kV,WD=5mm,高真空モード） |
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反射電子像分解能 |
: |
4.0 nm（加速電圧30kV,WD=5mm,低真空モード） 10.0 nm（加速電圧5kV,WD=5mm,高真空モード） |
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加速電圧 |
: |
0.3～30 kV |
倍率 |
: |
5～300,000倍 |
試料室環境 |
: |
6～650Ｐａ |
付属ｵﾌﾟｼｮﾝ |
: |
高感度低真空検出器(UVD)、ライブステレオ機能、ＣＣＤカメラナビゲーション |
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EDAX Genesis |
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検出器有効素子面積 |
: |
30mm2 |
分解能 |
: |
129eV以下 |
測定可能元素 |
: |
4Be～ 95Am |
・ 設置場所
１階124室
・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、取扱講習受講者
・ 参考資料
試料･目的別に最適な観察条件の目安を示すことで、初心者にも高画質像質の サービスを提供することを目的として観察条件データベースを作成しました。絶縁物・含水試料・含油試料など合計103個の試料について記載しております。
本データベースは平成26年度科学研究補助金（奨励研究、課題番号：26921006）の助成を受け、河西が作成しました。
ロゴをクリックすると、別のタブでWebデータベースが開きます。
