白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡
(3D Laser Scanning Microscope)
- ・ 機器名
キーエンスVK-X3000 （令和5年度設置）
- ・ 概要
レーザー共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の3つの異なる読み取り方式を備えた顕微鏡。試料の素材・形状・測定範囲に合わせた読み取り方法を選択できる。コンピュータ支援による多彩な観察・測定・解析をリアルタイムで行うことができる。測定結果は国家標準に繋がる体系が示されており、「正確性」と「繰り返し性」の2つの性能を保証。
- ・ 仕様
総合倍率: 42〜28800倍 視野範囲: 11〜7398 μm 高さ測定 測定範囲: 7 mm（カタログ35頁に掲載されている各対物レンズのW/Dも参考のこと） 試料最大高さ: 70 mm Zステージのストローク: 72 mm 測定原理: レーザ共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉 構成:
VK-X3000/3100 SP4088 レーザ顕微鏡 ヘッド部/コントローラ部
VK-D3 電動台座
VK-A3 観察解析ソフトウェアセット
VK-D3 電動XYステージ付き台座 （ステージの耐荷重3 kg（傾斜ステージ非搭載時））
VK-H3J 画像連結モジュール
VK-H3I 白色干渉モジュール
OP-88549 傾斜ステージ （耐荷重2 kg）
対物レンズ:
x5
x10
x20
x50
APOx150
干渉x10
干渉x20
（視野 337x253 μm 〜 3699x2773 μm）
（視野 168x126 μm 〜 1849x1386 μm）
（視野 84x63 μm 〜 924x693 μm）
（視野 33.7x25.2 μm 〜 370x277 μm）
（視野 11x8.3 μm 〜 123x92 μm）
（視野 168x126 μm 〜 1350x1012 μm）
（視野 84x63 μm 〜 675x506 μm）
レーザー光源:
半導体レーザ404 nm、最大0.9 mW、クラス2
- ・ 設置場所
2階221室
- ・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、ビデオ講習受講者（ビデオ講習の問い合わせはlecture@crfc.tut.ac.jpまで）
- ・ 留意事項
＊必ず事前に取扱いビデオを見て操作方法を学び、注意事項を守って使用すること。
