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電界放出形走査電子顕微鏡
(FE-SEM：Field Emission Scanning Electron Microscope)
- ・機器名
SEM部：日立 SU8000 TypeⅡ
EDX部：堀場製作所 EMAX ENAGY EX-250(X-Max80検出器仕様)
（平成２１年度設置）
- ・ 概要
非常に細く絞った電子線を試料に照射したときの２次電子または反射電子を検出して像を形成することにより、固体表面を観察できる。また同時に発生する特性Ｘ線を測定することにより、固体表面の微少部分に存在する元素種を非破壊に分析する。本装置は電界放出(FE)形電子銃を装備しており、電子源径が小さく輝度が極めて高いため高分解能である。また放出電子のエネルギー幅が小さいことから、低加速電圧でも高分解能像を得やすい。特性Ｘ線検出器は従来のものより素子面積が大きくかつエネルギー分解能が高いため高効率であり、より短時間で分析可能である。
- ・ 仕様
SU8000 |
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電子銃 |
: |
冷陰極電界放出形電子銃 |
分解能 |
: |
1.0nm(15kV,WD4mm)、2.0nm(1kV,WD1.5mm,標準ﾓｰﾄﾞ)、1.4nm(1kV,WD1.5mm,ﾘﾀｰﾃﾞｨﾝｸﾞﾓｰﾄﾞ) |
加速電圧 |
: |
0.5～30ｋＶ |
倍率 |
: |
20～800,000倍 |
信号検出系 |
: |
二次電子検出器(Top/Upper/Lowerの3個) |
試料ステージ |
: |
5軸モータ駆動 |
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EMAX ENAGY |
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検出器有効素子面積 |
: |
80mm2 |
分解能 |
: |
129eV以下 |
測定可能元素 |
: |
4Be ～ 92U |
分析機能 |
: |
定性分析、定量分析、線分析、面分析、定量マップ、相分析 |
・ 設置場所
１階122室
・ 使用資格
教職員または１年以上SEMの使用経験のある博士前期課程(修士)１年次以上で、取扱講習受講者
- ・ 留意事項
- 低加速電圧観察などの際に試料の汚染防止の目的で使用する液体窒素(約1.3ﾘｯﾄﾙ必要)は、利用者の負担になります。
