原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscope)
- ・ 機器名
ブルカージャパン Dimension Icon（令和8年度設置）
- ・ 概要
極微小な探針（プローブ）を用いて試料表面を走査し、原子レベルの表面形状、および物理的特性を三次元的に可視化する装置。大気中や液中など様々な環境下での高分解能測定に加え、表面の硬さや電気的特性などの多角的な評価に活用されることが期待される。
- ・ 仕様
構成:
Dimension Icon
DM-SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM) Appli cation Module)
DM-SCM-V2 (Scanning Capacitance Microscopy (SCM) Application Module)
DTFML-DD-HE-V2 (High Efficiency Direct Drive TappingMode Cantilever Holder for Scanning in Fluid)
サンプルサイズ/
ホルダ:210 mm vacuum chuck for samples, ≤210 mm diameter, ≤15 mm thick
＊実行可能な測定モードであっても、そこで使われるサンプルホルダやプローブが用意されているとは限りません。
- ・ 設置場所
1階107室
- ・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、ビデオ講習受講者（ビデオ講習の問い合わせはlecture@crfc.tut.ac.jpまで）
- ・ 留意事項
＊必ず事前に取扱いビデオを見て操作方法を学び、注意事項を守って使用すること。
＊カンチレバーは原則として各自でご用意ください。ただし、スポット利用の方を対象に、タッピングモード用カンチレバーのみバラ売りを行います（価格は別途問い合わせください）。
なお、この運用は使用実態に応じて変更される可能性があります。
