光学式プロファイラー
(3D Optical Profilometer)
- ・ 機器名
ブルカージャパン ContourX-200（令和8年度設置）
- ・ 概要
白色光干渉計(WLI)を用いた、非接触3次元表面形状測定装置。解析においては、豊富なライブラリとプリセットされたフィルタにより、使いやすいインターフェースと合理化された機能を提供。精密加工された表面、厚膜、半導体、眼科、医療機器、MEMS、トライボロジーなど、幅広い分野の表面測定で活用が期待される。
- ・ 仕様
スキャン範囲
≤10 mm
垂直分解能
<0.01 nm
横分解能
0.38 μm min (スパロー基準);
0.13 μm (with AcuityXR®)サンプル高さ
≤100 mm (4 in.)
中間レンズ
CX-AUTO-FOV、CX-FO.55X、CX-F2X （1X, 0.55X, 2X）
対物レンズ
CX-05X、CX-050X （5X, 50X）
- ・ 設置場所
1階107室
- ・ 使用資格
学部４年次以上及び教職員で、ビデオ講習受講者（ビデオ講習の問い合わせはlecture@crfc.tut.ac.jpまで）
- ・ 留意事項
＊必ず事前に取扱いビデオを見て操作方法を学び、注意事項を守って使用すること。
